金刚石膜/钛金属化体系界面结构,结合强度及抗热冲击特性研究

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金刚石膜的诸多优异的物理化学性质使其在高新技术领域有着广泛的应用前景.在金刚石膜的应用过程中,金属化和焊接是至关重要的步骤.该文采用热蒸发方法在金刚石膜上镀覆一层金属钛,对金刚石膜与钛的界面结构进行了研究.系统地研究了真空退火对金刚石膜和钛的界面反应的影响,观察到TiC的形成和生长过程,得到了TiC的形成和生长与退火时间和退火温度的关系.介绍了金刚石膜的钎焊工艺,并对焊接样品的结合强度和抗热冲击特性进行了研究.总结出在一定的退火条件下,金刚石膜与钛具有较好的结合强度和抗热冲击特性.
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