导电类型、方块电阻和电阻率是半导体材料最重要的特性参数,通过对其判别和测量,可以掌握不同种样品中杂质浓度的分布情况。因此,在半导体行业中,必须快速、准确地对硅晶圆片导电类型、方块电阻和电阻率进行判断、测量和分档。本文详细分析了导电类型、方块电阻和电阻率测试原理,在比较了几种测试方法的基础上,采用了三探针补偿法和双电测组合四探针法。与国内厂家现在普遍采用的电流指针偏转法和直线四探针法相比,具有测量精度高、测量无需修正函数,不受样品形状和探针间距的影响,抑制探针有时偏离直线或有纵向游移影响的能力较强等。本论文通过将导电类型、方块电阻和电阻率测试方法与单片机μ’nSP^TM061A相结合,设计出数字化智能导电类型、方块电阻和电阻率测试仪,介绍了各部分电路的组成、功能和相应的软件编程。该系统依据三探针补偿法和双电测组合四探针法原理,采用16位单片机μ’nSP^TM061A控制的高稳定度可编程恒流源电路和低温漂、低噪声可编程放大器电路,以及自动量程转换电路等部分构成测量回路,使得该仪器能够自动识别待测样品的电阻率,并根据电阻率大小自动切换量程,进行独立工作。运用冗余通道法和平均滤波法,抑制工频干扰,提高系统的测量精度和智能化水平。实际运行结果表明:测量结果与探针间距无关;能自动修正边界影响和自动选择量程,提高了该测试仪的数据处理能力和测量精度,而且操作十分方便。具有一定的实用价值和发展前景,较好地满足了生产与教学需要。