磁悬浮技术是一种是集电磁学、电子技术、控制工程等多学科融合的典型机电一体化技术,以其所具有的定位精度高、响应速度快、无摩擦、兼容真空环境等优点,磁悬浮微动定位平台在诸如集成电路、微机电系统加工制造等众多高新技术领域有着极强的应用潜力,一直受到学术界和工业界的广泛关注。进行磁悬浮平台技术的研究,有助于增强各个学科间的交叉与渗透,推动磁悬浮微动平台的开发与应用,具有十分重要的理论和现实意义。本课题基于永磁体之间的被动受力来减少竖直方向上主动控制的设计思路,提出一种新型混合斥力式磁浮平台的结构设计。其特点是由永磁体提供平台的悬浮力,电磁线圈提供水平方向的驱动力,以此减少竖直方向控制,从而减少负责主动悬浮的线圈数量。完成的主要工作和具体内容如下:（1）从机械结构、传感器系统、控制系统及功放系统提出了混合斥力式磁浮平台系统的总体设计方案,同时利用三维有限元仿真软件,对定子和动子的不同结构进行磁场仿真分析。（2）深入研究磁浮平台系统中磁力的非线性特点,基于磁荷模型推导得到磁标量势的解析表达式,对浮子永磁体在磁场中的受力进行精确计算,结果与有限元仿真和实验测量结果相同。针对浮子永磁体在不同悬浮高度处的受力规律进行探究,实现浮子永磁体在竖直方向和水平方向上的力解耦,证明了以被动悬浮力的稳定性来减少竖直方向控制这一策略的可行性。（3）针对浮子永磁体进行动力学建模,设计了能够实现稳定悬浮和移动的闭环控制,建立系统的整体数学模型,通过仿真验证了系统的稳定性。接下来,基于系统的整体设计方案和数学模型,搭建了各个模块的硬件电路拓扑结构,设计了数字控制器,编写了相应的控制算法。最后搭建了实验样机,样机能够实现稳定的静态悬浮,并具有良好的动态移动性能。实验结果验证了基于混合斥力式磁浮平台设计方案的可行性。