本文利用试验设计(DOE)技术对薄膜涂胶工艺进行了统计表征，实现了工艺条件的优化。在电路设计方面，针对一个典型的射频振荡器电路，建立了其主要指标的电路元模型，通过这些电路元模型，实现了对电路性能指标的调整以及优化设计。本文所做的主要工作有以下几个方面： 针对电路制造中的“薄膜涂胶”工艺，利用中心复合设计，通过20次试验，建立了该工艺设备的统计模型，实现了对该工艺设备的统计表征。并在实际中验证了该模型的有效性。利用该模型不但能使涂胶的胶膜厚度达到规定要求，而且提高了胶膜均匀性，实现了工艺条件的优化。 分析了电路元模型的意义以及与工艺设备的统计模型的联系与区别，并以振荡频率为目标值，建立了电路元模型，通过该模型可以在一定范围内对振荡频率进行调整。 分析了射频振荡器电路在不同容差条件下的成品率情况，并以成品率为目标值建立了新的电路元模型，利用该模型可以找到使成品率最高的元器件中心值组合，实现了该电路的优化设计。