【摘 要】
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钽酸锂(LiTaO_3)具有非线性光学,热释电效应等具有研发价值的性能。其作为光学器件、探测器件等器件的重要材料是当前研究的重点。课题中对磁控溅射制备钽酸锂薄膜的工艺及薄膜的光学、电学性能进行了重点研究,使用磁控溅射工艺制备了具有良好光学及电学性能的钽酸锂薄膜。研究了不同磁控溅射工艺对钽酸锂薄膜性能的影响。重点研究了不同射频磁控溅射功率、衬底、退火温度和退火气氛对钽酸锂薄膜性能的影响。通过椭偏仪测
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钽酸锂(LiTaO_3)具有非线性光学,热释电效应等具有研发价值的性能。其作为光学器件、探测器件等器件的重要材料是当前研究的重点。课题中对磁控溅射制备钽酸锂薄膜的工艺及薄膜的光学、电学性能进行了重点研究,使用磁控溅射工艺制备了具有良好光学及电学性能的钽酸锂薄膜。研究了不同磁控溅射工艺对钽酸锂薄膜性能的影响。重点研究了不同射频磁控溅射功率、衬底、退火温度和退火气氛对钽酸锂薄膜性能的影响。通过椭偏仪测试了钽酸锂薄膜的各项光学参数,计算出了薄膜的光学禁带宽度。研究了钽酸锂薄膜的极化工艺,并对极化后的薄膜的
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