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磁致伸缩是一种磁—机械耦合现象，以Tb-Dy-Fe为代表的稀土超磁致伸缩材料，其伸缩量为普通压电陶瓷的30-50倍，响应时间低于10.6秒，是理想的位移致动材料。常规的磁致伸缩型微位移致动器大多采用多晶或具有孪晶结构的磁致伸缩材料作为驱动单元，由于晶界和孪晶界对畴壁的移动具有阻碍作用，其低场下的位移输出较小，调控精度受到很大影响。在这类致动器中，一般需设计复杂的强制水冷结构，因而大大限制了微位移致动器的应用。近年来，武汉理工大学发明了利用磁悬浮冷坩埚提拉稀土—铁超磁致伸缩单晶材料的技术，攻克了长期困