表面结构CVD金刚石工具是通过化学气相沉积(CVD)技术以及后续的微结构加工方法制造的新型加工工具。研究表明,CVD金刚石涂层表面的微观结构能够显着提高刀具的加工性能,不仅可以获得良好的加工质量,而且还可以有效降低切削力或磨削力。为了实现CVD金刚石工具表面结构的激光微加工,并获得具有低热效应和在CVD金刚石涂层表面上的低沉积的最佳表面结构特性,本文进行了CVD金刚石涂层的喷雾辅助激光微加工工艺优化研究。研究了水辅助激光微加工的性能,并确定了其适用类型。研究了激光与水表面的相互作用机理,设置了适合激光处理过程的角度,水辅助喷嘴直径和水喷射方法的偏移距离等工艺参数。采用Taguchi方法进行了CVD金刚石涂层及其多种典型基体材料的喷雾辅助激光微加工工艺实验设计,基于正交阵列L25的方法建立了本研究中的工艺实验。完成了CVD金刚石涂层及其多种典型基体材料的喷雾辅助激光微加工工艺实验。研究了激光功率,扫描速度和喷雾对烧蚀沟槽特性的影响规律。并在此基础上优化了CVD金刚石及其多种典型基体材料的喷雾辅助激光微加工工艺参数。此外,进行了优化工艺参数性能的验证实验,该研究结果将有助于我们通过喷雾辅助激光微加工实现CVD金刚石涂层的高精度加工。