激光微加工相关论文
本文针对脉冲激光辐照光学材料的烧蚀与改性机理进行理论分析和实验研究。围绕激光参数、材料性能和约束环境等关键因素,研究了激......
实验发现飞秒激光单步刻蚀的光纤微腔两个反射壁与纤芯轴向并不完全垂直，微腔形状与飞秒激光经显微物镜聚焦后的焦点相对于光纤的位......
采用皮秒激光对石英玻璃进行打孔实验，探究了石英玻璃在532 nm皮秒激光作用下的损伤阈值，同时通过控制变量法研究了激光能量密度、脉......
激光微加工是半导体精密加工的一个有效方法。对于碳化硅(SiC)单晶,使用紫外波段激光可以获得对入射能量最大的吸收效率。使用355n......
介绍了一种两级复眼式均束器的设计。它不仅均匀效果好，传输效率高，输出光束截面尺寸连续可调，而且为掩模投影式准分子激光微加工系统......
针对复杂结构和图案的飞秒激光微加工,提出了一种基于BMP图像边缘跟踪的飞秒激光微加工方法.介绍了采用该方法实现复杂图形飞秒激......
为了提高微光纤压力传感器的制作效率,采用157nm激光加工的自封闭式法布里-珀罗腔,形成在线式全光纤压力传感器,包括微腔和一截短......
提出了一种新型的光纤法布里-珀罗(F-P)折射率传感器,该传感器由单模光纤头端面和靠近该端面的由157 nm激光加工而成的短空气腔构......
随着柔性电子技术的不断发展,人们利用集成技术与微纳加工技术,在柔性材料上制造出集传感、滤波、数据存储等功能为一体的新型柔性......
仿生极端润湿性功能表面在自清洁抗污耐腐蚀、油水分离材料界面净化水体、非均匀润湿性图案化表面水收集等场合具有重要的应用前景......
随着激光加工精度要求的不断提高,加工设备系统的稳定性问题受到越来越多的重视.利用有限元方法对高精度激光加工设备的固有频率和......
主要从实验角度研究了在波长780 nm飞秒激光作用下石英的烧蚀,给出了石英烧蚀孔径与能量的关系,计算出石英的烧蚀阈值为1.06 J/cm~......
首先用波长为10.6μm的二氧化碳激光对TC4合金表面进行抛光.利用三维形貌仪测量材料表面粗糙度,结合抛光前后材料表面微观形貌特征......
飞秒激光脉冲持续时间短、峰值功率高,在对物质进行处理过程中热作用区域小、加工精度高,已成为一种制作高性能、新结构光子器件的......
摩擦学理论研究及工程应用均表明,摩擦副表面存在与其润滑性能要求优化相匹配的理想微观结构形貌,可显著改善其润滑状态,延长使用......
微流控芯片技术是一种在微米甚至纳米尺度的低微通道结构中控制体积为皮升甚至纳升的流体进行流动并传质、传热的技术,是工程、物......
新兴的光纤传感器代表了新一代传感器发展的趋势,具有结构简单、体积小、重量轻、不受电磁干扰、稳定性好、精度高、便于组网等显......
本论文以微制造信息系统为主体，详细阐述了集用户信息管理、实验数据信息管理、远程微装配、动态信息发布等技术于一体的远程微制造......
光纤传感器由于其本身特有的优势，如结构简单、体积小、无电磁干扰，在航空航天、能源、建筑等工业和军事领域得到了广泛的应用。光纤......
导师饶云江教授团队十余年来对光纤珐布里-珀罗干涉仪(FFPI)的基本结构、制作方法、基本特性、解调技术以及实际应用等诸多方面进......
折射率测量和温度测量是在冶金、电力、化工、航天航空等领域具有重要应用,光纤传感以其特有的优势越来越受到人们的重视,在上述领......
提出了一种基于光纤三维微结构加工的磁场传感技术方案。利用波长为780nm的飞秒激光脉冲在刻写有光纤布拉格光栅(FBG)的单模光纤包......
随着微纳米流体系统的发展及其在生物技术中日益广泛的应用，微纳米尺度的通道及空腔的制作技术在MEMS技术的发展中有着举足轻重的作......
飞秒激光与物质的相互作用一直是人们非常关注的领域。对于低重复频率的飞秒激光，脉冲之间的间隔时间比较长(小于1ms)，远大于激光能......
随着激光微加工技术的快速发展，对其加工的质量以及效率要求越来越高。在以CPLD与单片机为主要核心部件的基础上研发出来的的激光脉......
157nm准分子激光用于微加工具有单光子能量高,峰值功率高,材料吸收系数高,分辨率高等优点。利用157nm激光微加工的方法,在光子晶体......
近年来,激光精细加工技术在我国的先进制造业特别是微加工领域得到了迅猛的发展,作为一种新兴的加工技术,其有非接触、无磨损、无......
激光技术以其自身在工作效率、加工精度及清洁性等方面的独特优势,在不同技术领域有广泛应用,其中激光微加工技术即可应用于集成电......
以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95# Al2O3瓷板为微壳结构体，设计并采用激光微加工技术制作了具有Ф0．2mm微孔通道的微结构传......
针对超薄型Al2O3易碎加工难的问题，提出激光微加工的方法。阐述了激光微加工的原理，通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲......
光子晶体光纤作为新一代光纤和传统光纤相比具有许多独特的优点，因此研究基于光子晶体光纤的传感器已成为光纤传感技术领域的一个热......
本文利用高速摄影机对激光加工过程中伴随产生的等离子体在室温大气压下的动态过程进行监测研究.对等离子体持续过程及其随时间的......
本文分析了非本征型光纤法珀干涉仪的几种主要的制作工艺：手工制作、化学腐蚀和激光微加工。三种方法各有其特点,本文主要总结化学......
期刊
为实现自主研制的激光微加工系统图形加工控制,设计了一种激光微加工系统上下位机之间串行通信协议.在自主研制的激光微加工系统中......
利用激光制作微流控芯片的报道近年不断增加。激光制作微流控芯片具有灵活、快速、高效、可控的特点，对激光制作方法的研究具有广阔......
建立了飞秒激光自由空间光学相干断层成像(OCT)系统,给出了该系统的初步实验结果.系统的光源为掺Ti蓝宝石锁模激光器,输出脉宽小于......
为了研究惯性约束聚变（ICF）实验用靶丸不同密度界面的流体力学不稳定性增长,设计并制备了聚苯乙烯（CH）/碳气凝胶（CRF）,CRF/硅气凝胶（SiO2）......
采用1kHz飞秒激光（脉宽148fs，中心波长775nm）对石英衬底的金膜的烧蚀过程进行了研究．单脉冲与多脉冲的烧蚀阈值可以通过烧蚀点的直径平......
提出了一种应用于激光微加工的变焦系统控制的算法。综合利用插补算法和变焦方程，使变焦系统中各运动镜头组获得相应的线性或非线性......
利用157nm激光微加工技术在单模光纤的端面加工一个微槽，用一段光纤将其密封形成一个空气珐-珀腔，这段密封用光纤与两侧的空气界面形......
利用辐射测温系统进行温度测量时，所测温度的准确性及分布细节会受多种因素的影响，使得实验测得的温度分布远远低于实际值，为了提高温......
对超衍射理论进行了研究和分析，通过利用优化算法设计了对应于横向、纵向，特别是三维超衍射的3种二元相位元件；模拟结果表明在飞秒激......
设计了激光微加工系统中的运动控制系统,探讨了系统的组成、设计与实现.系统由目标值设定器、数字控制器、运动执行机构和位置检测......
当前抛光参数数学建模分析方法精度低,建立新激光微加工的抛光参数数学模型,通过数学模型对沟壑的形成原理进行数学建模,获取不同......
