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提出了一种应用于激光微加工的变焦系统控制的算法。综合利用插补算法和变焦方程，使变焦系统中各运动镜头组获得相应的线性或非线性精确位移。并且控制运动镜头组以合理和稳定的速度移动。保证了通过掩模板的准分子激光光斑的连续和稳定的变化。变焦系统可以不更换掩模板而刻蚀出大小连续变化，形状相似的复杂结构。提高了准分子激光微加工的复杂度和分辨率。