非晶硅薄膜相关论文
采用射频磁控溅射法沉积了P型非晶硅（a-Si）薄膜，利用X射线衍射仪（XRD）、拉曼光谱仪（Raman）、透射电子显微镜（TEM）分析了薄膜的结构，主要研究......
针对传统水系镍氢电池电化学窗口较窄以及能量密度较低的缺点,基于硅材料优异的储氢性能,采用射频磁控溅射方法和后气体氢化处理分......
The critical technology for fabrication of the micro-bridge structure based on amorphous silicon (a-Si) films is studied......
通过对叠层非晶硅薄膜太阳能电池制备工艺流程的讨论, 提出了在玻璃基材上刻划透明导电氧化物(TCO)层, 非晶硅(a-Si∶H)层和背电极......
0626019阳极氧化中烧损行为及防止〔刊,中〕/王平//西华大学学报(自然科学版).—2006,25(4).—41-43(G)0626020利用热退火法从非晶......
研究了一种氢化非晶硅(a:H-Si)薄膜微晶化的激光控制工艺方法。在保持脉宽、激光功率和激光光斑大小一致的情况下,分别应用4、8、1......
采用热丝化学气相沉积(HWCVD)方法沉积本征非晶硅薄膜,研究了热丝电流对薄膜结构及其钝化单晶硅片效果的影响。采用光谱型椭偏仪分......
面对越来越严重的能源以及环境问题,人们将越来越多的注意力转向了光伏太阳能。其中,晶体硅太阳电池技术已经高度产业化,效率已达......
采用等离子体增强化学气相沉积法制备了不同PH3/SiH4气流量比条件下的N型a-Si:H系列薄膜,研究了PH3/SiH4气流量比对N型a-Si:H薄膜......
期刊
氢化非晶硅(a-Si…H)薄膜在微电子和光电子工业中有着重要的应用,而椭偏分析技术是一种重要的薄膜表征手段。利用椭偏测量技术并采......
本文采用TED、SEM和X光谱分析法研究了在550～750℃范围内用常压CVD法生长非晶硅薄膜的晶化和结构特性。指出了CVD非晶硅的晶化温度......
由磁控溅射法制备的氢化非晶硅薄膜具有宽司的电学、光学、光电和微结构特性.而且微结构变化对于电导率是灵敏的.特别是薄膜的暗电......
应用材料公司(APPLIED MATERIALs)制造了生产世界上最大的太阳能电池板所需的设备。 2006年，半导体设备巨头应用材料公司大规模......
非晶硅薄膜太阳能电池与晶体硅太阳能电池相比,具有工艺简单、成本低、能耗少等优点。但是,由于非晶硅薄膜材料自身的缺陷及光致衰......
非晶硅由于热光系数高,成本低廉、易于集成等特点,被广泛应用于光学系统中。近年来,设计基于非晶硅薄膜热光效应的低损耗、高性能......
非晶硅薄膜在近红外波段具有低吸收率、高热光系数、制作成本低且易于集成等优点,使其能够在半导体领域的光电器件中广泛应用。在......
氢化非晶硅具有很强的光电导和较大的光吸收系数,不但可以通过掺杂改变其导电类型,而且可通过改变沉积工艺条件连续的调整材料的光......
晶体硅（c-Si）以其优良的电学特性、成熟的工艺和低廉的成本成为微电子和光电子行业的基础材料。然而，受制于自身的间接带隙且光学常数......
多晶硅薄膜具有单晶硅材料较高电迁移率和稳定的光电性能等特性又与非晶硅薄膜一样可大面积低成本制备，因此在薄膜晶体管、微电子集......
非晶硅(a-Si)具有特殊的光学、电学性质,并且呈现出了巨大的应用前景。但是由于它含有大量的缺陷态(主要缺陷态是悬挂键),使其在实......
由于非晶硅薄膜具有制备工艺简单、原材料价格低廉和可实现大面积大规模自动化批量生产及光敏性好等绝对优势,目前已得到越来越广......
学位
太阳能是人类取之不尽、用之不竭的可再生能源,也是清洁、不产生任何环境污染的能源。多晶硅薄膜在长波段具有高光敏性,对可见光能......
ZnO是一种N型宽带直接带隙半导体材料,室温下禁带宽度为3.37eV,有优异的压电、光电、压敏等特性,且电导率和透过率高,具有和ITO相......
在石油和天然气价格不断上涨的今天,可再生能源,尤其是太阳能的研究业已成为各国各大研究小组研究的重点。随着太阳能电池的深入研......
作为一种新兴能源载体，太阳能电池以其优秀的环保性、高效率、取之不尽等诸多优点，在军事、航天、航空等领域及民用方面得到广泛应用......
纳米非晶硅(hydrogenated nano-amorphous silicon，na-Si：H)因具有类似非晶硅(a-Si：H)的高光吸收系数(达10~5数量级)和光敏性，同时又具......
基于金属诱导非晶硅薄膜晶化法，采用磁控溅射技术制备了具有Si/M…Si/M周期结构的Si/M多层薄膜，并对其进行了退火处理。利用X射线衍......
电动汽车和化学储能技术的发展对高性能锂离子电池提出了越来越高的要求。在负极材料方面，目前商业化的锂离子电池主要采用石墨类碳......
随着光伏产业及其市场的发展,开发高效率、低成本的太阳电池已成为主要研究方向。非晶硅氢薄膜／晶体硅(a-Si:H/c-Si)异质结太阳电池......
目前,硅薄膜太阳能电池的研究已成为国际光伏领域研究热点,这是由于它相对于单晶硅和多晶硅太阳能电池而言,具有耗材少,成本低的特......
在晶硅电池的研究领域当中，创新结构的HIT(Hetero-junction with intrinsic thin film)太阳电池具有结构简单、制作工艺简单、高效......
学位
原位溅射的AZO薄膜由于其优异的光学、电学和压电特性以及其在薄膜电池和平板显示器上的应用前景引起了广泛的关注。另外,类单晶AZ......
随着能源危机和环境问题的日益加剧,寻找合适的新能源成为国际上关注和研究的焦点。太阳能作为清洁可再生能源备受青睐,经过多年发......
带有本征薄层的异质结(Heterojunction with Intrinsic Thin-layer,HIT)电池的结构特点是在PN结之中加入一层本征氢化非晶硅薄膜。......
飞秒激光与物质的相互作用一直是人们非常关注的领域。对于低重复频率的飞秒激光，脉冲之间的间隔时间比较长(小于1ms)，远大于激光能......
介绍了一种非晶硅 (a- Si)薄膜低温晶化的新工艺 :金属诱导非晶硅薄膜低温晶化。研究了各种 a- Si/金属双层膜退火后的晶化情况。......
采用金属铝诱导晶化非晶硅薄膜的方法制备多晶硅薄膜。研究了不同的退火温度对a-S i薄膜晶化的影响,采用XRD,R am an,SEM等测试手......
采用等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术,在Corning Eg 2000玻璃上制备非晶硅薄膜,研究了射频功率对薄膜光电性能的影响。结果表......
4月16日,中国资源综合利用协会资源节约与代用专业委员会在京主持召开了沈阳汉锋非晶硅薄膜太阳能光伏板产业化示范项目推介会.......
对于国内太阳能产业来说,刚刚过去的2009年虽然没有重复2008年“过山车”式的大起大落,但也称得上“悲喜交加”.......
铝诱导非晶硅薄膜晶化可以降低退火温度、缩短退火时间 ,是制备多晶硅薄膜的一种重要方法 .在此基础上 ,通过在退火过程中加入电场......
利用Kr F准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫......
本文采用PECVD法制备非晶硅薄膜，采用了氮化硅、氧化硅、单晶硅和铂四种衬底，研究在不同衬底上制备的非晶硅薄膜的光学特性。......
