Q33微流控芯片制作中的激光技术

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利用激光制作微流控芯片的报道近年不断增加。激光制作微流控芯片具有灵活、快速、高效、可控的特点,对激光制作方法的研究具有广阔的发展前景。 本文系统的对微流控芯片制作中的激光类型及应用特点、各种可被激光加工的芯片材料、制作模式及其特点,以及芯征制作的激光工艺参数对芯片质量的影响作出综述:从激光与材料作用的机理出发.针对微流控芯片制作中存在的向题进行了探讨。
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