随着超大规模集成电路(VLSI)技术的发展,人们越来越关注电子系统中大元件的集成化,其中滤波器是非常重要的一个模块。在理论分析的基础上,论文结合了现在技术较成熟、功耗较低、集成度较高的CMOS工艺技术,利用常用的基本开关模块,用连续时间模型等效分析离散域的方法来分析和实现了开关电容滤波器。本文首先回顾了集成电路以及MEMS的国内外研究现状和理论背景,介绍了本论文的主要工作以及本课题的意义、热点和难点。在第二章对各种类型的滤波电路进行了介绍并进行了时域、频域方面的分析;对它们的优缺点以及应用的范围都进行了详细的阐述,为后面的电路设计打下了理论基础。对于滤波器中最重要的运算放大器模块的设计,本文提出了一种高增益、高摆幅、低功耗的改进型AB类运算放大器的设计。在进行电路信号特性详细分析的基础上,给出了仿真分析结果。采用美国JAZZ 0.6um Bi-CMOS工艺设计了一种应用于MEMS传感器的高线性度、低功耗全差分四阶贝塞尔开关电容滤波器。该滤波器的运算放大器为输出AB类运算放大器,通过AB类运算放大器以及开关电容共模反馈的设计,降低了功耗;在运算放大器中设计了线性跨导环,并通过对电路的拓扑结构进行优化,提高了滤波器的线性度。仿真结果表明,在采样频率为1MHZ下,该滤波器的截止频率为10KHZ。在输入信号为1KHZ,摆幅为2V时,THD为-81.3dB,功耗为5.54mW,达到了高线性度,低功耗的设计要求。最后,论文对本文所做的工作进行总结,提出了开关电容滤波器设计中存在的问题和需要进一步改进的地方和以及以后研究的方向。