【摘 要】
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半导体器件的等效电路模型是集成电路(IC)设计的基础,在功率放大器、滤波器、振荡器和混频器等电路结构的设计中,器件模型的选取和应用非常关键。基于铟磷(In P)材料的异质结双极晶体管(HBT)在高频应用中具有极大的优势和发展潜力,在成本适中的情况下实现高工作频率、高发射效率、低功耗,In P HBT在毫米波微波领域引起了越来越多的关注。模型的准确性往往依赖于模型参数提取的可靠性。本文主要针对参数的
【基金项目】
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国家自然科学基金(NSFC)“基于 67-110GHz 毫米波测试的 HBT 器件建模和低功耗电路设计(基金编号:61774058)”和“Ⅲ-V族化合物半导体器件太赫兹建模和电路验证(基金编号:62034003)”;
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半导体器件的等效电路模型是集成电路(IC)设计的基础,在功率放大器、滤波器、振荡器和混频器等电路结构的设计中,器件模型的选取和应用非常关键。基于铟磷(In P)材料的异质结双极晶体管(HBT)在高频应用中具有极大的优势和发展潜力,在成本适中的情况下实现高工作频率、高发射效率、低功耗,In P HBT在毫米波微波领域引起了越来越多的关注。模型的准确性往往依赖于模型参数提取的可靠性。本文主要针对参数的直接提取法进行研究。直接提取模型参数方法有着速度快且简单易懂的优势,这种相对传统的参数提取方法已成熟应用于模型建立,但往往需要进一步的优化措施,用于确保参数的准确性并估计模型的稳定性。因此本文利用灵敏度分析方法,对小信号模型的不确定进行估计,可用来辅助确定本征参数提取的最佳值。结合矢量网络分析仪的测量不确定度,得到小信号模型参数对测量数据的不确定曲线,从而获得最佳提取频率范围。本文基于In P HBT器件,分析了小信号等效模型参数的灵敏度,并对模型的微波特性做了蒙特卡洛分析。本文的主要内容:1)介绍了HBT器件小信号模型的基本结构和模型参数的直接提取方法,并对寄生参数进行去嵌;2)基于模型参数的直接提取方法,推导了In P HBT小信号本征等效电路中各个元件参数对模型端口S参数的灵敏度表达式;3)结合矢量网络分析仪的测量不确定性,分析得到了本征参数对测量S参数的不确定度;4)基于发射区面积5?5μm~2的In P HBT,比较了灵敏度分析优化后的模型S参数与测量S参数,在450MHz-40GHz的频率范围内均吻合地很好;5)运用灵敏度分析得到的不确定度,对HBT微波特性的特征频率和最大振荡频率进行了蒙特卡洛分析。
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