N2及N2-Ar空心阴极放电中产生的氮活性粒子(N+、N2+、N),可用于氮化物薄膜制备、金属表面氮化等。金属表面氮化涂层技术一般希望得到径向流密度较高的氮活性粒子。在深入研究N2空心阴极放电机制与放电参数关系的同时,通过在氮气中掺入其它种类气体,可以改善氮气放电的特性,提高氮粒子的活性。N2及N2-Ar空心阴极放电有重要的研究意义,例如：金属材料掺氮后它的硬度会增强,这在机械行业较为关心。本文开发了N2-Ar混合气体空心阴极放电的PIC/MCC的混合模型,在模型中考虑了带电粒子(e、N+、N2+、Ar+)与基态中性分子(N2、Ar)的24种反应过程。模拟了N2及N2-Ar空心阴极放电的物理过程,其中带电粒子在电场中运动以及产生的自洽电场由PIC方法模拟,粒子的碰撞过程则由MCC方法模拟,并应用Fortran语言编写了程序。本文在一定程度上揭示了氮气掺氩的空心阴极放电机理,研究结果如下：1.模拟了N2管子型空心阴极放电表面氮化涂层的空间等离子体特性。其中研究了管内粒子数密度、离子平均能量、离子径向流密度、离子轰击阴极的能量分布函数、电子碰撞率、氮活性粒子(N+,N,N2+)产生率的的分布情况。2.模拟了放电参数及几何线度对空心阴极放电管子内表面氮化的影响。其中研究了放电参数(V、P)对径向电场、径向流密度分布的影响和几何线度对空心阴极效应的影响。3.模拟了掺Ar对N2空心阴极放电表面氮化涂层的影响。其中研究了掺Ar后对放电空间粒子数密度、离子平均能量、离子径向流密度的影响。N2-Ar空心阴极混合气体放电,物理过程比较复杂并且受放电参数、几何线度、掺氩比例影响。对等离子体材表面涂层有指导意义。本文对空心阴极放电等离子体研究提供了理论依据。