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本文探讨了利用微波ECR全方位离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备类金刚石膜(工作气体为甲烷)的方法，并将两种方法相结合制备了性能良好(表面形貌光滑、膜基结合力强)的类金刚石膜，这种方法在世界上是一种新颖的制备手段，论文也描述了设备控制原理，分析了类金刚石成膜机理，并对所制备的薄膜采用拉曼光谱、傅立叶红外透射谱、原子力显微镜等方法进行了研究。 研究结果表明： (1)用全方位离子注入技术能够制备出类金刚石膜。在全方位离子注入技术中，不同