等离子增强化学气相沉积相关论文
本论文以工作于红外波段光子晶体的应用为背景,采用传输矩阵法和平面波展开法相结合的方法系统地研究了常见晶格结构光子晶体的带......
利用有限时域差分方法设计并优化了由二氧化硅和氮化硅组成的双层和三层减反射膜,在1550nm波长附近实现减反射效果.采用等离子增强......
HADS产品通常使用有机膜材料来减小寄生电容,以实现高像素密度(PPI)显示.本文对如何改善以顶层ITO为像素电极(Pixel Top)设计的有......
硅基薄膜太阳电池因其成本低廉、易于大面积生产等优点，日渐受到人们的广泛关注并且发展迅速。采用多结叠层电池结构，是提高电池效率......
本文探讨了利用微波ECR全方位离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备类金刚石膜(工作气体为甲烷)的方法，并将两种方法相......
等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD)是制备薄膜材料的几种方法中技术最为成熟、操作较为简单的一种，并且可以制备均匀性高的大面......
光电子集成技术的不断发展，使硅基发光材料成为广泛关注的焦点。近几十年来，各国学者对硅基发光材料和相关器件进行了研究。研究主要......
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行......
采用射频等离子增强化学气相沉积法制备出a-C∶H(N)类金刚石薄膜 ,用X射线光电子能谱、红外吸收谱和慢正电子湮灭谱研究了薄膜的结......
利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、Raman光谱、x射线光电子能谱、......
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散二氧化硅（SiO2）微球组装形成三维有序胶体晶体模板。以锗烷（GeH4）为先驱体气，用等离子增强化学气相沉......
使用薄膜分析系统研究在不同衬底温度下生长的硅基ZnO薄膜反射谱,了解衬底温度对薄膜的结晶状况影响。研究结果表明,随衬底温度的......
采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) ,在单晶硅衬底上生长氮化硅 (SiN)薄膜 ,再对薄膜进行快速热退火处理 ,研究了在不同温度下......
期刊
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米晶结构的碳化钨薄膜.采用SEM,XRD,EDS......
采用甚高频等离子增强化学气相沉积技术,以SiH4,CH4和O2作为反应气源,在150℃下制备非晶碳氧化硅薄膜,并对薄膜进行不同条件下快速......
诺发系统有限公司日前宣布开始销售用于生产的在VECTOR Express^TM等离子增强化学气相沉积（PECVD）平台上实现的可灰化硬掩模（AHM？）工艺......
为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率,研究了用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的SiNx:H作为晶体硅太阳电池的表面钝化及减反射膜......
用氮化处理的方法对Si衬底的表面进行钝化,外延生长出高质量的ZnO薄膜.ZnO薄膜的质量通过X-射线(XRD)、阴极射线(CL)谱和光致发光(......
微电极具有常规电极无法比拟的优良的电化学特性．它包括单微电极和微电极阵列，其中单微电极的整体尺寸小，可用于微区分析研究．目前微盘......
采用溶剂蒸发对流自组装法将单分散二氧化硅（SiO2）微球组装形成三维有序胶体晶体模板,以锗烷（GeH4）为先驱体气用等离子增强化学气相沉......
石墨烯作为一种新型的二维纳米碳基材料,具有非常优异的电学、光学、力学及热学性能。这种集多种优异性能为一身的巨大优势使得其......
学位
以硅烷和氨气为前驱体，采用等离子增强化学气相沉积（PECVD）法制备了氮化硅（SiNx）薄膜．利用X射线光电子能谱和红外光谱，研究了在不同的硅烷......
采用一种绿色的等离子增强化学气相沉积法,以Al2O3为衬底, Ga金属为镓源, N2为氮源,在不采用催化剂的情况下,成功制备获得了结晶质......
医用31 6L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出.利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用......
采用ICP干法刻蚀和PECVD沉积技术,制备了增强型Si衬底SiO2/GaN MOS栅场效应晶体管（MOSFET）。SiO2/GaN MOSFET转移特性曲线测试中出现......
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本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积, 等离子辅助化学......
光电子集成技术的不断发展,使硅基发光材料成为广泛关注的焦点。近几十年来,各国学者对硅基发光材料和相关器件进行了研究。研究主......
我们在研制和生产双层布线的 3μm CMOS LSI器件时,采用了 PECVD SiON（等离子增强化学气相沉积的氮氧化硅）膜作金属层之间的绝缘层.......
石墨烯是一种新型的二维纳米材料,其拥有独特的结构并表现出优异的光电性能,因而一经发现便成为全世界范围内的研究热点,并被认为......
学位
采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH4、NH3和H2为反应气体,通过改变氢流量来制备富硅-氮化硅薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱......
采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH4、NH3和N2为反应气源,通过改变射频功率制备富硅-氮化硅薄膜材料。利用傅里叶变换红外吸收......
为了获得应用于AlGaAs激光器上的优异的氮化硅薄膜,采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)低温条件下在GaAs衬底上制备了不同参数的氮......
近年来,具有的高击穿场强、热传导率和高电子迁移率等优点的GaN材料吸引了研究人员的注意,GaN基HEMT电子器件成为了半导体器件的研......
本文内容分为三部分。在第一部分中,为了提高合成碳纳米管时催化剂制备的效率,采用化学镀方法在泡沫镍基底上定量镀覆作为催化剂的......
本文探讨了利用微波ECR全方位离子注入技术和等离子增强化学气相沉积技术来制备类金刚石膜。对所制备的薄膜采用拉曼光谱、傅立叶......
光通信技术飞速发展，其中集成平面光波导器件是光通信系统中至关重要的组成部分，而硅基二氧化硅／氮氧化硅光波导器件由于其损耗小、与......
以Zn(C2 H5) 2 和CO2 为反应源 ,在低温下用等离子体增强化学气相沉积方法 ,在Si衬底上外延生长了高质量的ZnO薄膜。用X射线衍射谱......
期刊
太阳能是各种可再生能源中最重要的基本能源,生物质能、风能、海洋能、水能等都来自太阳能,广义地说,太阳能包含以上各种可再生能......
为解决电子界面的散热问题,热界面材料逐渐得到人们的关注与发展。由碳纳米管组装而成的阵列材料具备良好导热性能及稳定性。为了......
本论文以工作于红外波段光子晶体的应用为背景,采用传输矩阵法和平面波展开法相结合的方法系统地研究了常见晶格结构光子晶体的带......
随着高速纺纱锭子的出现及其技术的逐步成熟,钢丝圈-钢领摩擦副的磨损已成为限制纺纱速度的主要障碍,直接影响到纺纱行业品质和生......
学位
类金刚石涂层是一种与金刚石涂层性能相似的新型薄膜材料,它具有较高的硬度,良好的热传导率,极低的摩擦系数,优异的电绝缘性能,高......
学位
开发新能源和可再生清洁能源是21世纪最具决定影响的技术领域之一,太阳能光伏技术是近年来发展最快、最有活力的可再生能源利用技......
近年来,由于透明薄膜晶体管具有高迁移率(大于10 cm2/Vs)、低温工艺、能大面积生产、低成本等优点,已经引起了广泛的研究兴趣。而......
在TFT小型化趋势下,需要进一步提高氢化非晶硅薄膜晶体管的TFT特性,尤其是开态电流特性。本文结合生产实际,阐述了工艺上改善氢化......
以硅烷 (SiH4)和硼烷 (B2H6)为气相反应先驱体,采用等离子体增强化学气相沉积法 (PECVD)制备出能应用于液晶光阀光导层的硼掺杂非......
期刊
类金刚石膜因其高的硬度、高的介电性、低的摩擦系数、优异的光学和化学性能以及巨大的潜在应用前景而成为研究热点。采用离子增加......
期刊
采用射频等离子增强化学气相沉积方法制备了磷掺杂氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜。通过Raman散射光谱研究了不同磷烷掺杂含量薄膜的微结......
