本文首先分析了表面形貌评定理论和方法的意义，总结了表面形貌评定理论和方法的研究现状及进展，分析了现有的表面形貌评定国际标准及其相关评定体系，并针对二维表面形貌评定软件中最重要的问题—轮廓峰谷点的搜索问题，提出了基于有限差分思想的二维轮廓峰谷点搜索算法。在此算法基础上开发了相应的二维表面形貌评定软件，并通过对大量的实际采样数据的处理验证了算法的可行性。其次，就三维表面形貌评定过程中的形貌分离与滤波问题，分析了二维高斯滤波评定基准的长处与不足，并对二维高斯滤波函数进行了改进。运用未改进函数和已改进函数对实验采样数据进行处理。同样，对三维领域的高斯滤波函数，也进行了改进，并通过实际采样数据进行了验证。最后，介绍了几种在三维表征中产生基准面的实用方法，分析了当前国际上具有代表性的几种三维表面形貌的表征方法，详细介绍了一种新型的数字图像处理方法(数学形态学中的流域分割法)，用该图像分割法对微细加工表面的电子显微图片进行了处理，并结合Barre定义的三维Motif及其表征参数，对三维表面形貌进行了定量表征。