波导作为集成光学系统的基本元件，在光通信、光互连和光学信息处理等方面具有广泛的应用。制作光波导的方法很多，其中传统的制作工艺，如离子交换、离子注入、金属扩散等，存在工艺复杂、制作周期长、成本高等缺点，而且它们只能在靠近材料表面制作二维光波导结构，不易制作三维光波导。近年来飞秒激光刻写波导技术被认为是一种直接、快速、高效的集成光波导器件制备技术，备受关注。铌酸锂晶体是一种集电光、光弹、声光、光折变、非线性以及激光活性等物理效应于一身的罕见材料。　　 本文主要研究了飞秒激光在铌酸锂晶体内制备光波导技术，本论文完成的主要工作如下：　　 1)利用钛宝石飞秒激光振荡器(中心波长800nm、脉宽50 fs、重复频率76M Hz)作为写入光源，分别采用横向扫描模式和纵向扫描模式在铌酸锂晶体内制作光波导。比较了横向扫描和纵向扫描两种直写模式的优缺点及各自写入的光波导的形貌，分析了横向扫描直写的光波导的横截面呈现椭圆形的原因。经分析发现，折射率失配导致的表面球差是产生这种变化的主要原因。由于球差的引入，聚焦深度大的地方，波导端面明显拉长，因此可以通过改变聚焦深度有效地控制波导端面的纵横比。　　 2)实验讨论了飞秒激光的入射平均功率、扫描速度及重复扫描次数等参数对刻写结果的影响。经分析发现，波导线宽随着入射激光平均功率的增大、扫描速度的减小、以及扫描重复次数的增多而增大。实验确定了刻写良好性能光波导的条件，并在此基础之上制备出了1×2光功分器。　　 3)实验利用自行搭建的简易测试装置初步测试了直写的光波导的传输性能，发现随扫描速度的减小，波导传输模式发生改变，通过控制扫描速度可以控制波导传输模式数目。　　 4)实验还分析了有可能是铌酸锂分子的多光子吸收导致Li离子外扩散致使铌酸锂晶体折射率发生改变。