随着社会的进步和经济的发展，能源危机、环境危机日益严峻，清洁能源替代传统石化能源是实现可持续性发展的必要条件。其中，太阳能发电具有安全可靠、不受资源分布地域的限制、取之不尽、无污染等优点，是重要的能源供给方式之一。太阳电池制造目前已成为新兴的技术和资本密集型产业。晶体硅是最重要的太阳电池材料，占据了90%以上的光伏市场份额。晶体硅片的切割技术主要分两种：主流的砂浆线切割法，以及新兴的金刚线切割法。金刚线切割法相对砂浆线切割，具有切割速度快、精度高、环境友好、易于回收硅屑等优点，有利于硅片薄片化，减少硅耗，降低成本。但目前很难大规模推广金刚线切割多晶硅太阳电池，其原因主要在于金刚线切割多晶硅片（DWS mc-Si）难以通过传统的酸制绒形成较好的陷光绒面。金刚线切割的多晶硅片表面比砂浆线切割多晶硅片表面更为光滑，其表面的缺陷浓度更低，因而适用于砂浆线切割硅片制绒的传统酸制绒工艺无法在金刚线切割硅片上进行有效的刻蚀，传统方法制绒后的金刚线切割多晶硅片表面的反射率仍很高，导致制得的太阳电池转换效率较低。如何在金刚线切割多晶硅片表面制备出质量较好的多晶硅绒面已经成为近几年国内外研究的热点。　　本研究主要内容包括：⑴采用金属辅助催化腐蚀法制备金刚线切割多晶硅片表面的绒面。考察了银离子、铁离子、铜离子分别催化刻蚀多晶硅时合适的腐蚀液配方以及工艺条件。采用银催化刻蚀最低可将反射率降至16.7%左右，采用铁催化刻蚀最低可将反射率降至10.4%左右，采用铜催化刻蚀最低可将反射率降至13.6%左右。⑵采用酸液腐蚀法制备金刚线切割多晶硅片表面的绒面。研究探索合适的酸液配方、工艺流程及工艺条件等。该制备工艺所需时间短且操作简单，最终可将反射率降至14.2%左右。⑶发展了创新的酸液雾化腐蚀法制备金刚线切割多晶硅片表面绒面。研究探索合适的预腐蚀工艺、酸液雾化腐蚀工艺、腐蚀液配方等。最终反射率可降至5.5%左右，制得的大片太阳电池（156 mm×156 mm）转换效率高达18.01%。通过优化工艺参数，转换效率仍有很大的提升空间。