【摘 要】
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本论文主要涉及到新型硅基光波导开关的设计、制作和测试，内容包括： A.利用SiGe材料，结合多模干涉(MMI)原理和等离子色散效应，理论设计了2×3光波导开关，2×4光波导开关以及4×
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本论文主要涉及到新型硅基光波导开关的设计、制作和测试，内容包括：
A.利用SiGe材料，结合多模干涉(MMI)原理和等离子色散效应，理论设计了2×3光波导开关，2×4光波导开关以及4×4光波导开关等3种新型的光波导开关。2×3光波导开关突破了传统光波导开关只有Y型分支1×2光开关、X型2×2光开关、3×2光开关、以及由Y分支1×2结构或X型2×2结构为基本单元级联形成的M×N光开关阵列；2×4硅基光波导开关只需利用两个折射率调制区之间的配合，即可实现光信号在四个不同输出端口的输出，将两个折射率调制区的调制电压的开/关(施加电压/不施加电压)状态对应的四种二进制逻辑状态和光路输出一一对应；4×4光波导开关是一种非级联型的多端口波导开关。利用束传播法(BPM)对所设计的光开关进行了理论模拟，计算结果表明上述光开关具有低插损、高串扰等优点。
B.在理论计算的基础上，采用Silicon-On-Insulator(SOI)材料，制作了上述2×3光波导开关和4×4光波导开关两种波导开关。
C.对所制作的两种光开关进行了几何参数和光学参数的测试。
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