【摘 要】
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信息技术的日益成熟离不开微电子技术的不断发展。集成电路作为微电子技术的内核,必须继续朝着低成本、高性能的目标努力,同时还要克服摩尔定律中因尺寸不断缩小而带来的短沟道效应和迁移率降低等问题。如今,集成电路技术已经渗透到我们生活的全方位。由此本文提出了一种具有非易失性浮动可编程门的可重构场效应晶体管（FPG-RFET）。与传统具有编程栅的RFET可重构晶体管不同,新器件引入了非易失性电荷存储层作为浮动
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信息技术的日益成熟离不开微电子技术的不断发展。集成电路作为微电子技术的内核,必须继续朝着低成本、高性能的目标努力,同时还要克服摩尔定律中因尺寸不断缩小而带来的短沟道效应和迁移率降低等问题。如今,集成电路技术已经渗透到我们生活的全方位。由此本文提出了一种具有非易失性浮动可编程门的可重构场效应晶体管（FPG-RFET）。与传统具有编程栅的RFET可重构晶体管不同,新器件引入了非易失性电荷存储层作为浮动可编程门,而不是需要独立电源的程序门。此外,控制门还可以对存储在浮动可编程门中的电荷进行编程。因此,所提出的FPG-RFET本质上只需要一个独立供电的控制门就可完成可重构的操作。其中,控制门可以通过调节浮动可编程门中的等效电压,进而有效地降低静态功耗和反向漏电流的产生。对于所设计的器件由最初的设想经过逐步的优化,得到最终的性能较好的器件结果。本课题使用Silvaco TCAD仿真软件对新设计的器件结构进行综合仿真分析。重点分析了添加电荷后的非易失性浮动可编程门的工作机理,并利用Tonyplot2D中的功能选项对器件的内部电场强度、载流子浓度、电势和亚阈值摆幅等关键参数进行了测量和比较,以便叠加并分析数据。在优化过程中,选择控制变量法,通过只改变一个参数来观察其对器件性能的影响,从而逐步分析影响器件性能的其他参数,从而得到最终的优化结构。
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