【摘 要】
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该文首先回顾了解决光分束问题的历史过程:从半反射镜的应用到二元光学元件的产生;介绍了二元光学设计的原理和实现的几种算法及二元光学元件广泛的应用前景.作者根据光衍射
【出 处】
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长春光学精密机械学院 长春理工大学
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该文首先回顾了解决光分束问题的历史过程:从半反射镜的应用到二元光学元件的产生;介绍了二元光学设计的原理和实现的几种算法及二元光学元件广泛的应用前景.作者根据光衍射的标量理论,傅立叶积分和傅立叶变换原理,结合数值计算方法,详细地论述了二值型(0,非π)矩形位相光栅和多位相值型(16个分离不相等的位相值)矩形光栅的优化设计,推出的公式具有一般性,由此公式可以设计扇出数不同的二值型及多值型矩形位相光栅.最后,介绍了制作二元光学元件的工艺和原理,其中常用的几种制作方法是:掩模法刻蚀、镀膜法及反应性离子直接刻蚀法,以期对二元光学元件有更全面、更深刻地理解.
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