AMOLED显示屏技术以其逼真的画质、轻薄的尺寸、更加便携的用户体验感,极大提高了移动终端的便利性,使其成为智能设备面板中公认的领导者,终端设备行业发展的重要支柱。高精密AMOLED生产线设备和相关制成仪器设备对微振动隔离要求非常严格,必须考虑降低四周环境微振动。因此,工艺区间设备制程生产线防微振基台的安装非常有必要。本文结合昆山某光电有限公司在ARRAY车间新增曝光机的工程实例,采用理论分析、环境振动现场实测与有限元软件SAP2000建模相结合的方法,研究防微振基台动力特性分布规律,确保曝光机底部防微振基台符合防微振设计要求,满足曝光机设备正常运行条件,为同类工程提供微振基台结构设计依据以及数据支撑,本文主要研究内容包括:(1)对防微振基台进行总结分类,给出基台板耗能模式是通过自身的块体结构对称性、质量集中性、内陆多通性,利用等能量封闭体和路径屏障耗能实现减振作用,为同类型防微振基台结构设计提供理论支撑;(2)该项目开展了两次振动测试,第一次是设备安置前的振动测试,测得将基台直接放置在楼板上,即可满足设备运行要求。第二次测试是设备安置后测点振动水平,测得基台台面整体性好,满足设备正常运行条件,达到设计要求;(3)采用有限元SAP2000分析软件,建立有限元模型,由第四章防微振基台的动力参数进行模态优化设计可知,基台板的宽高比、框架内部形式、柱与基台板连接处约束方式以及柱截面尺寸等动力参数在所研究范围区间内均可提升防微振基台结构的竖向振动特性,提升防微振基台隔振性能。(4)以国机集团振动控制团队提供工程实例为基础,证明动力参数模态优化设计结论的可行性。