【摘 要】
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该文首先分析了当今MEMS在生物、化学分析系统上的应用发展,提出了课题的主要任务,即用MEMS实现用于进行DNA分离的基于毛细管电泳技术的微沟道器件.接着,在毛细管电泳基本原
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该文首先分析了当今MEMS在生物、化学分析系统上的应用发展,提出了课题的主要任务,即用MEMS实现用于进行DNA分离的基于毛细管电泳技术的微沟道器件.接着,在毛细管电泳基本原理的指导下,我们设计了两种以玻璃为衬底的用MEMS工艺实现的平面微沟道器件,其中一种是以玻璃做封盖,另一种是以二氧化硅/氮化硅薄膜做封盖.在制作器件的过程中,选择腐蚀掩膜材料,可以实现对玻璃进行深达300微米的刻蚀,并获得良好的横向刻蚀效果;同时在实验过程中,发现在49﹪的HF酸中,光刻胶在Au上仍有很好的粘附作用,由此对工艺进行了改进.对薄膜做封盖的器件,通过控制LPCVD氮化硅淀积时的反应气体流量,得到500nm/2μm厚的二氧化硅/氮化硅薄膜的应力仅为十几个Mpa.阳极键合被用于给器件加不同的封盖,如玻璃封盖和薄膜封盖.采用微沟道器件,我们做了分离两种长度DNA的实验,得到了分离结果.
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