等离子体放电技术具有非常广泛的应用,越来越引起人们的关注。其中辉光放电是等离子体放电的一种重要形式,可以被用于大面积材料处理、有机物降解、灭菌消毒、放电光源以及臭氧生成等。辉光放电降解大分子染料废水的研究也正在成为热点。但是等离子体放电存在诸如机理和理论不完善等亟待解决的问题,计算机模拟等离子体放电是解决这些问题的一个有效途径。本论文对辉光放电进行了计算机模拟和分析,主要工作和创新如下：(1)对辉光放电的放电原理、产生条件、组成区域和基本特征等内容进行了介绍,为计算机模拟辉光放电的模型建立提供了理论知识和参考对比。(2)以辉光放电的基本特征和条件为基础,利用粒子模拟(PIC)和蒙特卡洛(MCC)方法,可以建立一维、二维或三维物理模型。采用PIC方法的静电模型描述带电粒子与电场的相互作用,MCC方法描述粒子间的碰撞过程。(3)根据针尖平板电极和放电气体的特点,将放电模型具体化。考虑电子、正离子与中性粒子的弹性碰撞和非弹性碰撞。用matlab2008b软件编写程序,模拟针尖平板电极的辉光放电过程,研究的重点在于带电粒子在电场中的运动、带电粒子产生的空间电场、粒子间的碰撞和带电粒子与边界的相互作用等。(4)运行模拟程序,得到了辉光放电过程中电子的坐标、能量、角度和速度等数据,对这些微观信息进行统计平均,得出了电子能量分布、电场空间分布等辉光放电的宏观特性。研究了改变工作气体、外加电压和电极间距对放电的影响。模拟的结果与辉光放电等离子体的特性比较一致,形象地描述和解释了辉光放电等离子体中粒子随时间演化的过程。