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【摘 要】
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随着光学非球面元器件加工技术水平的不断提高,其在各相关领域内的应用也愈发广泛,然而,面型误差仅为纳米量级的精密非球面的加工离不开相应的精密检测技术来保障。光学非球面常用的精密检测方法是干涉法,其中采用Offner补偿器的零位法只能适用于简单非球面,而各种非零位干涉检测方法则需要严格校正额外引入的系统误差（回程误差）,过程复杂且精度受限。在干涉系统的光路结构上,传统的泰曼-格林（Twyman-Gre
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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浙江大学
【发表日期】
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2021年01期
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