应用于液晶平板显示屏自动光学检测仪器中的气浮工作台运载单元因为其具有几乎无磨损、精度高、无污染等优点,广泛应用于光学测量加工、超精密机械加工、航空发动机测量制造等领域。本文主要对气浮工作台气膜承载力等静特性进行分析研究,主要做的工作如下:首先,运用计算流体力学(Computational Fluid Dynamics,CFD)的FLUENT软件仿真分析了气浮工作台静特性,分析了不同供气压力和真空压力下的承载力等静特性变化规律,仿真分析不同结构参数如节流器间距、节流器结构参数、节流器个数、节流器排布方式等对气浮工作台的静特性影响情况。设计实验方案并搭建气浮工作台实验平台,进行了实验系统重复性与稳定性实验;利用数值仿真方法获得气浮工作台的承载力等静特性存在周期较长问题,运用响应曲面法,结合统计学相关知识提出了气膜厚度的二次多项式回归模型,并进行了方差分析,结果表明回归模型失拟性不显著,模型是可行的,并对模型进行验证。最后,利用实验数据得到了气膜厚度人工神经网络模型,二次多项式回归模型与人工神经网络模型预测的气膜厚度分别与实验结果进行对比分析,结果表明人工神经网络模型预测精确度更高。得到气膜厚度回归模型,进而可间接得到承载力等静特性,这种方法为研究气浮工作台静特性和实际工程研究提供一定的借鉴作用。