随着社会科技与纳米技术的不断发展,精密化和微型化是现代制造业加工的重要发展方向之一,微机电系统(MEMS)因其体积小、能耗低、集成度高等一系列优势被视为21世纪最重要的发展技术之一,在许多精密仪器行业有着广泛的应用需求。在微细加工领域中,微细电火花加工属于非接触性加工,它拥有低加工应力、加工效果无毛刺和易处理高硬度质料的长处,普遍地应用在航空航天、汽车、生物医疗仪器这些行业,是加工微细轴、孔、深小孔最重要的手段之一,其研究和发展一直是工业界与学术界的关注对象。本文的研究目的主要包括微细电火花加工微能脉冲电源的研究及其放电控制系统的研究。首先简要综述了微细电火花加工的研究背景及意义,介绍了微细电火花加工技术的产生、发展历程及国内外现状,研究分析了微细电火花的加工机理及放电特性。根据微细电火花加工电源的高频、微能特性,设计了以RC放电为主放电回路的可控RC脉冲电源拓扑电路,该电源主要包括了EMI滤波模块、PWM驱动模块、数据采集模块、短路保护模块、上下机通讯模块,电源以MOSFET晶体管作为高频开关控件,采用小电阻限流,得到高频窄脉宽电压,实现微细能量加工。本文设计的电源加工控制系统是以FPGA,即现场可编程门阵列和Nios软核系统处理器作为控制中枢,可以完成加工电压及电流的信号采集并且充当脉冲发生器,采用衰减电路及八位数据并联采集的方法采集加工间隙平均电压和加工电流设置上下阈值判断电火花加工状态,以RS232串口通讯实现上位机对电源加工参数的调节。微细电火花加工平台为多功能微机床三维加工平台,该平台以Lab VIEW程序设计块电极反拷、电火花打孔的进给回退伺服控制界面,具有伺服控制精度高、响应速度快的特点。本文所设计研究的微细电火花加工电源具有放电频率高,放电脉宽窄,放电能量小以及加工稳定性好的特点。通过进行块反拷加工微细轴和微细孔加工实验可以验证所设计的微能脉冲加工电源的性能可靠性及加工稳定性,通过改变电参数及加工条件,可对微细电火花加工进行加工效率及加工精度、电极损耗的研究。