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来源 :中国科学院固体物理研究所 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
具有纳米复合结构的涂层(如nc-TiN/a-Si3N4)为硬质薄膜的设计提供了一个很好的范例,本文的工作即是在氧化物中寻找一种类似的体系,以期获得高硬度。氧化物混合物粉末经高温烧结
【作 者】
:
刘涛
【机 构】
:
中国科学院固体物理研究所
【出 处】
:
中国科学院固体物理研究所
【发表日期】
:
2005年期
【关键词】
:
氧化物薄
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