该文首先采用Pspice模拟软件中的Statz模型用实验的方法提取了三种基本GaAs逻辑单元电路的器件参数,然后模拟分析了阈值电压V<,th>跨导系数β、沟道长度调制系λ、源极寄生电阻R<,s>等器件及工艺参数对电路转换特性的影响.通过电路模拟发现,V<,th>和β的变化对转换特性的影响很大,进一步计算由三种逻辑单元电路构成的集成电路在不同成品率,不同集成度时对阈值电压均匀性的要求,发现中有阈值电压均匀性达到一定水平时,才能制造出合格的GaAs集成电路.因此,阈值电压的均匀性可以综合反映材料与器件的关系,应对其进行深入研究.由于对阈值电压进行深入研究需要做大量的数据测量工作,而现有的测理系统由于采用手动操作,不仅费时、费力、而且精度低,无法适应研究工作的要求.因此,我们自主开发了一大阈值电压自动测试系统,利用此系统可以实现快速、高精度的测量,使阈值电压的研究工作可以顺利开展.在对系统的软、硬件进行进一步的扩展以后,该系统还可以用于测量GaAs材料的其他参数,从而为综合开展GaAs材料的各种参数研究提供了有效的方法和手段.