移相干涉是数字波面干涉测量中最常用的技术,具有算法简单、精度高、重复性好等优点,在光学元件面形高精度测量中得到广泛的应用。大口径光学元件面形干涉测量技术中存在移相难题是制约发展的主要原因。利用PZT直接驱动大型镜面存在结构稳定性、多点驱动一致性等方面问题;波长移相高度依赖于精密调谐的激光光源,该光源研制技术难度大存在光束质量差,功率低寿命短等问题。本论文从光源出发研究一种适用于大口径移相干涉测量的短相干分光延迟移相方法,将大口径干涉腔光程匹配及移相问题转移至小口径短相干光源模块。该方法通过对光源进行分光延迟、光程匹配及移相解决目前存在的问题,具有精度高、稳定性好、与大口径干涉腔分离等优点,并且可应用于不同腔长测量及平行平板测量需求。全文研究内容如下:阐述了移相干涉术基本原理及移相算法,分析了波长移相和PZT移相的基本原理及特点。阐述了短相干干涉理论,并进一步对短相干光源移相方法进行了探讨。从移相需求出发,对满足测量需要的短相干光源进行深入分析。同时,设计并搭建实验系统,利用延迟相干匹配方法测量了光源相干长度。另外,对短相干光源分光延迟移相系统关键元件进行分析和研究。针对短相干光源分光延迟移相中的延迟匹配、移相控制、条纹对比度控制进行深入分析。在分光延迟技术中引入角锥棱镜组及光程匹配算法方案,解决了干涉腔长变化范围大、光程匹配困难的问题。同时,对光源PZT移相存在的移相误差进行了分析和校正。利用（37）600mm口径干涉系统进行测试验证,将分光延迟测量结果与波长移相方法测量结果的相对比,验证了光源PZT移相方案在大口径干涉仪中的可行性。除此以外,利用该系统对方砖进行测量并与Zygo干涉仪进行对比,证明了短相干光源系统测量平行平板的可靠性。