薄膜热电偶具有良好的时空分辨率,能够满足瞬态测温和微小尺寸空间测温的需求,因此在工业制造、航空航天、化工安全等领域中得到越来越广泛的应用。随着各行业对瞬态温度测量需求的提高,对薄膜热电偶动态特性的准确评价提出了更高的要求。然而,大多数薄膜热电偶动态特性标定的研究与应用均以实验测量为主,现有的理论成果尚不能充分描述影响测量薄膜热电偶动态性能的因素,尚未建立统一的动态特性标定方法,存在着较大的测量误差,因此从传热机理上分析薄膜热电偶动态特性参数已成为准确评价其动态特性的关键步骤。为了解决薄膜热电偶动态特性评定方法理论基础的匮乏,本文针对薄膜热电偶动态特性标定中涉及的传热现象进行分析,具体包括以下两方面内容:第一,分别采用油浴阶跃、脉冲激光两种方式对薄膜热电偶进行动态特性标定,探讨其中的传热问题,建立传热模型,运用有限元仿真从理论上获得薄膜热电偶动态特性参数值,并分析其影响因素。第二,进行动态特性标定实验,对理论分析进行验证,对比两种动态特性标定方法得到的薄膜热电偶动态响应,分析现有标定方法的缺陷及不足,根据分析结果提出理想薄膜热电偶动态特性标定所需满足的条件。本文对薄膜热电偶动态特性标定中的传热进行分析,为建立合理的薄膜热电偶动态特性标定方法提供指导,对提高薄膜热电偶性能、扩展其应用领域具有重要意义。