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在当今信息技术快速发展的时代,如何快速准确的获取信息是首先要解决的问题。传感器作为信息获取与转换的重要手段之一,始终是人们研究的重点。其中磁敏传感器可以利用感应磁场强度来测量位置、方向等物理量而应用于现代工业产品中。目前存在不同类型的磁敏传感器,如:霍尔(Hall)效应传感器、各向异性磁电阻(AMR)传感器和巨磁电阻(GMR)传感器等。但Hall效应传感器具有功耗大、线性度差的缺陷;AMR传感器线性范围较窄、工艺复杂;而GMR传感器同样也存在线性范围窄、灵敏度低等缺点。相比于这些类型的传感器,隧穿磁