由薄膜体声波谐振器（Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR）构成的FBAR滤波器,与传统滤波器相比具有体积小、工作频率高、低插入损耗、低功耗以及易集成等优点,已经发展成为一种射频前端中高频滤波器的全新解决方案。是目前4G通讯射频前端中应用最为广泛的滤波器件,也是未来无线高频通信系统中最理想的器件。我国虽早已完成5G通信频段的划分,但国内对应5G通信频段的滤波器产品还比较少。所以本文系统性地设计了一款N78频段内3400-3600MHz的FBAR滤波器。本文详细阐述了FBAR和FBAR滤波器的工作原理,推导并改进了FBAR的Mason模型。通过有限元分析软件仿真发现一阶边缘凸起的电极结构的FBAR,可以使并联谐振频率处的Q值提高224,但会略微牺牲串联谐振频率处的Q值和有效机电耦合系数。基于推导的Mason模型构建了梯形结构的FBAR滤波器,对比分析了FBAR品质因数和压电材料的压电耦合系数对FBAR滤波器性能的影响。同时还分析在滤波器并联支路采用T型、π型电感级联方式对其性能的影响,在达到相同的性能指标时,T型级联方式使用总的电感值最小,且性能最佳。采用五串四并的梯型FABR滤波器电路结构,通过随机优化器和梯度优化器使滤波器的电路结构满足3400-3600MHz滤波器的设计指标要求。参考相关文献与专利,制定了本文的版图设计规则。并按照优化后的滤波器中各谐振单元的面积设计了版图布局。本文通过声-电磁联合仿真结果进一步优化了FBAR滤波器的性能。分析了PCB集成电感中的互感效应、寄生损耗和趋肤效应等不良影响。采用PCB集成电感的方式设计了多层螺旋电感。采用拆分谐振器的方法,降低了功率耗散密度,最终声-电磁联合仿真的性能为:插入损耗大于-1.87d B,N79频段处的抑制为-64d B,可承受功率大于30d Bm;封装尺寸:1.1×0.9mm2。