随着物联网技术的日渐普及,射频识别标签(RFID)技术作为它的重要应用之一,也逐渐走进了我们的生活。其中,基于传统硅工艺的射频识别标签应用已经相当成熟,但相对较高的成本也限制了它在易耗品市场上的应用。与此同时,氧化物薄膜晶体管以其透明的器件、低廉的成本、灵活的衬底等特点,在一些特殊的领域,如显示、防伪、物流等,拥有广泛的应用前景和巨大的发展潜力。本文旨在探索氧化物薄膜晶体管在透明射频识别标签领域的应用以及柔性标签工艺。本文主要分为六个部分。第一章分别介绍了射频识别标签技术、氧化物薄膜晶体管以及常用剥离工艺,并简要概括了氧化锌薄膜晶体管基射频识别标签的研究现状。第二章介绍了氧化锌的材料特性,以及在本实验室工艺条件下氧化锌薄膜晶体管的性能,还简单介绍了Cadence仿真的流程。第三章介绍了在实验室研究的基础上,模拟电路模块的添加和改进,主要包括解调模块、稳压保护模块、分频模块、整流调制模块和天线及其匹配电容,并介绍了防冲突电路和分时电路。第四章讲了氧化锌薄膜晶体管的制造工艺,以及对柔性标签工艺的探索。第五章展示了整体的电路、版图、实物,普通、防冲突和分时版标签芯片的测试,以及包含了阅读器的系统测试结果。第六章则对本文作了总结和展望。本文的研究基于课题组氧化锌薄膜晶体管的自主工艺,实现了射频识别标签芯片的改进及功能模块的添加,并探索了透明柔性标签实现的可能性。本标签成本较低,且有作为透明柔性标签的潜质,未来若能产业化大规模生产,在射频识别领域将有广阔的应用市场。此外,本研究实现的模块在薄膜晶体管涉及的其他领域的电路中也可得到应用。