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【摘 要】
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为了更大程度地提高集成电路的集成度，使它能够继续按照摩尔定律和等比例缩小规律发展下去，就必须在器件工艺方面取得更大的突破。对于跟器件尺寸密切相关的超大规模集成电路VL
【发表日期】
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2004年期
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