ZnO:Eu3+薄膜的制备和发光性能研究

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本文采用射频磁控溅射法,以ZnO和Eu2O3混合物作为溅射靶材,Ar气为工作气体,O_2气为反应气体,在硅(Si)衬底和蓝宝石(Al_2O_3)衬底上制备ZnO:Eu~(3+)薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和荧光分光光度计对ZnO:Eu~(3+)薄膜的晶体结构、表面形貌和发光性能进行测试。实验结果表明:(1)ZnO:Eu~(3+)薄膜的晶体结构ZnO:Eu~(3+)薄膜呈现六角纤锌矿结构,是C轴择优生长的多晶薄膜,且没有Eu
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