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本文采用射频磁控溅射法，以ZnO和Eu2O3混合物作为溅射靶材，Ar气为工作气体，O_2气为反应气体，在硅（Si）衬底和蓝宝石（Al_2O_3）衬底上制备ZnO:Eu~(3+)薄膜。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和荧光分光光度计对ZnO:Eu~(3+)薄膜的晶体结构、表面形貌和发光性能进行测试。实验结果表明：（1）ZnO:Eu~(3+)薄膜的晶体结构ZnO:Eu~(3+)薄膜呈现六角纤锌矿结构，是C轴择优生长的多晶薄膜，且没有Eu