随着现代工业、发电、汽车等行业的发展,各种燃料的燃烧和大量化工厂建造,向空气中排放大量有毒性气体,其危害性十分巨大。因此,快速、准确地检测、控制低浓度有毒性气体排放是急需解决的问题,研究探测大气环境NO2,Cl2传感器有重要意义。目前气体传感器存在着方法复杂、成本高、精度低等问题。而有机半导体由于它的材料丰富、成本低、制膜工艺简单、易于与其它技术兼容、在常温下工作等优点,已成为研究的热点。有机材料半导体和薄膜技术的发展,为研制新型气敏传感器提供了有利保证。本课题以酞菁类化合物为主要合成材料,通过质谱和能谱分析鉴定合成方法正确性;对酞菁材料合理杂化,得到较理想的电导率;采用微精细加工工艺制备平面叉指电极;采用真空镀膜、涂膜和拉膜等薄膜制备技术,在叉指电极上形成敏感膜,扫描电子显微(SEM)形貌分析表明,薄膜颗粒尺寸均匀。不同方法制备的薄膜显微形貌也有较大的差异。采用真空镀膜、拉膜和涂膜技术制备气敏薄膜;真空镀膜稳定性比涂膜好,涂膜的响应、导电性比真空镀膜好。酞菁化合物的掺杂后,其导电性有明显的改善,通过真空镀膜电阻能降到109?以下,达到半导化。粗酞菁铜(未提纯)涂膜法制备薄膜的导电性较好,气敏特性较好。本文讨论了酞菁配合物的气敏机理、薄膜特性及中心金属和取代基对气敏性的影响及其规律,所获得的酞菁类气敏薄膜具有较好的响应恢复和热稳定特性,对Cl2等有毒气体选择性好、响应灵敏;对Cl2的响应达到20ppm以下,氧化性气体NO2与Cl2具有相似的响应特性及变化规律,还原性气体H2S则相反。论文展望了酞菁配合物作为气敏材料的发展趋势。