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在微加速度计中,扭摆式加速度计因为结构设计简单、成本低廉而被广泛应用,但同时也存在稳定性与温度特性较差等缺点。本文根据现有扭摆式加速度计存在的不足,设计了一种具有加工过程简单、灵敏度高、鲁棒性和温度特性良好等优点的蝶翼式加速度计。本文主要从蝶翼式加速度计的结构设计、加工工艺、检测电路、测试平台和性能测试等方面开展研究工作,详细研究内容包括:1.设计了蝶翼式加速度计总体结构并阐述了其工作原理。建立数学模型对加速度计六边形支撑梁的力学特性、电容灵敏度等理论进行了分析。根据理论分析和加速度计性能指标要求确