微加速度计相关论文
基于纳米光栅近场泰伯自成像效应，提出一种双层光栅透射检测式的单片集成三轴微加速度计的设计方案，利用双层光栅的面内运动和离面运......
在已有的工艺技术条件下，设计出能实现特定的应用目的MEMS器件并最终实现产业化，这是所有MEMS研究的出发点以及最终的目的所在。MEMG......
微型机电系统(MEMS)是集微型机构、结构、执行器、传感器与信号处理、电路、通信、电源、接口等于一体的微米级器件系统。MEMS在航......
本文以一类静电驱动双侧平行板电容型微加速度计的动力学模型为研究对象,该器件由直流偏置电压和交流电压共同驱动。基于局部分岔......
电容式加速度传感器是目前研究最多的一类加速度传感器。随着我国航空航天事业的蓬勃发展,加速度传感器作为导航制导的关键器件广......
采用MEMS技术制成的加速度计具有体积小、集成度高、可靠性高等优点而获得广泛的关注和研究。本文针对采用MEMS技术制成的三明治加......
电子隧道传感器应用电子隧道原理对位移进行检测，结构简单，能耗低，它具有很高的灵敏度，并且不受尺寸限制，在微型化和集成化方面显示了良......
成果简介： 该知识产权平台包括芯片内温度和电源管理的知识产权库、低功耗数据转换器、低噪声微功率的模拟信号处理前端电路知识产......
FBAR微加速度计是微惯性技术与RF MEMS技术交叉的新型电声谐振式微加速度计,可望满足对微加速度计性能、可靠性和可制造性的综合要......
微电子机械系统(MEMS)是多种学科和领域交叉融合的技术。随着加工工艺技术和计算机技术的发展，计算机辅助设计和虚拟现实被引入到了......
微加速度计是测量线加速度的传感器,也是惯性导航单元的重要组成部分。因其体积小、质量轻、成本低、便于批量化生产等优点被广泛......
随着导航技术、制导技术等领域的发展,加速度计等惯性器件在军事民用等领域的应用愈加广泛。单片三轴微加速度计同时具备三个方向......
目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动......
微加速度计的应用已经渗透到日常生活中的方方面面,大到航天、汽车、工业设备,小到手机、游戏机中都能看到它的身影。叉指式微加速......
叉指式微加速度计的应用领域涉及到娱乐生活、国防事业等方面,是微传感器中重要的研究对象之一。在其使用过程中,由于环境温度变化......
微加速度计作为微惯性测量组合(MIMU)的核心元件,具有小型化、低能耗、高精度、高集成度等优点。本文所研究的叉指式加速度传感器......
MEMS (Micoelectromechanical system)加速度计以其优越的性能和应用价值而被各国科学研究机构、各国高校和公司视为重点研究对象......
基于静电驱动与检测技术的力平衡式微加速度计具有线性度好、动态范围大、灵敏度高和可靠性强等优点。由于微加工工艺的不完善,微......
MEMS微加速度计经常和微陀螺仪组合形成微惯性测量组合(MIMU)安装在民航飞机中,实现导航功能。适航管理条例中对航空器导航系统的......
随着微惯性测量系统应用的日趋广泛,微小型化是微惯性测量系统发展的重要方向。本文主要通过对微惯性测量系统中加速度计和开关两......
随着微机电技术的发展,微型惯性传感器在测量工作上已经显现出其优异的性能,微加速度计和微机械陀螺仪在惯性测量组合中具有极其重......
加速度计是现在军事导航系统的核心,随着惯性技术的日趋成熟,正朝着高精度、低成本、数字化、集成化等方向发展。微机械加速度计具......
微机械加速度传感器是一种重要的惯性器件，在航空航天、汽车工业、石油探测和地震预报等领域中有着广泛的应用。电容式加速度传感器......
电容式微加速度计是当前MEMS领域的研究热点,对微加速度计表头电容的变化进行检测是其读出电路中首先要解决的问题。研究开发易于......
论文对隧道式微加速度计的信号处理电路进行了系统详细的研究,对采用PID方法实现闭环反馈系统的控制进行了探索性分析。考虑到敏感......
MEMS惯性器件在许多领域得到了广泛的应用,而将微MEMS微惯性器件应用于电脑外设,有望产生新一代的多功能、使用更舒适、更人性化的......
微机械加速度计作为一种重要的惯性器件,在汽车、消费电子、惯性制导等方面有广泛的应用前景。本文介绍了低噪声和高速全差分运算......
采用ΣΔ调制技术实现加速度计的闭环反馈,不仅结构简单,带宽高,易于采用CMOS工艺实现,同时也得到了直接的数字输出,所以ΣΔ调制......
研究表明当电磁波在光子晶体中传播时，由于多层布拉格散射而形成能带结构，即光子能带，在光子能带之间存在光子带隙也称作光子禁带，频率......
本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压结构的介观压光型微机械加速度计的设计和研究。该传感器较传统的硅微机械压阻式加速度计......
微机电系统(MEMS)器件在军用和民用领域应用都比较广泛,其设计研究涉及到机械、电子、磁场等领域,属于多学科问题,对其进行优化设......
介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被 测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片......
为明确梳齿电容式与“三明治”电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实......
给出了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的静电悬浮微加速度计(MESA),其主要由上定子、质量块和下定子组成.采用力平衡原理和力矩......
在传统双边四梁微加速度计结构的基础上,设计了一种新型MEMS低量程微加速度计,量程为±10 g。用ANSYS有限元软件对加速度计的结构......
静电力反馈微加速度计的敏感质量与固定结构部分因静电力作用发生吸合失效,严重影响加速度计的可靠性。为根本解决吸合问题,分析了......
本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标.该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB......
硅谐振式加速度计(SOA)精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景.介绍......
论述了Σ-Δ调制器的基本原理,将Σ-Δ调制技术应用于微加速度计系统,设计了一种新型的微加速度计,建立了系统模型。并对系统的频......
为明确微机械加速度计在振荡输入过程中直流输出的情况,着重分析了静电力反馈电容式微加速度计振荡频率低于微加速度计带宽和在微......
高灵敏度电容式位移检测是实现静电悬浮微加速度计闭环测控的关键技术之一.针对微加速度计径向悬浮检测的特点及指标要求,设计了高......
静电悬浮微机械加速度计通过静电力把质量块无接触的悬浮起来,具有极高的分辨率.一般采用差动电容式位移检测的方式来精确检测质量......
微型惯性测量组合就是将微加速度计、微陀螺、微信号变换处理电路和信号校正电路进行综合集成,从而获得载体的综合惯性参数测量,它......
PHEMT结构一种高电子迁移率晶体管,以其高频和低噪声等方面的优越性,成为当今微电子领域中最活跃的研究主题之一。将其良好的力敏......
通常情况，梳状微加速度计具有对称结构。但是加工工艺的缺陷可能导致梳状微加速度计的弹性梁不对称，引起结构发生扭转运动。对于双端......
提出了一种基于微加速度计的无线惯性鼠标的设计方案。该方案以微加速度计ADXL213作为信号检测元件，并采用低功耗处理器MSP430F135......
为了简化模拟电路部分的设计,减少模拟电路的干扰,提出了一种基于数字电路的Σ-Δ调制微加速度计。在传统由纯模拟电路搭建的Σ-Δ......
