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微加速度计作为微惯性测量组合(MIMU)的核心元件,具有小型化、低能耗、高精度、高集成度等优点。本文所研究的叉指式加速度传感器是各类加速度计产品中的代表,在强势的市场需求牵引和高新技术推动下,叉指式加速度计的设计和研制已经成为MEMS领域研究热点之一。为了提高硅片的电学性能以及提供腐蚀的高选择性,微加速度计的加工采用基于浓硼掺杂的自停止腐蚀技术,硼原子代替硅原子的掺杂工艺会产生晶格失配现象,导致表芯结构发生翘曲现象,梳齿之间的间距和正对面积会产生变化,从而改变微加速度计的检测电容。此外,深反离子刻蚀