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电容式微加速度计是当前MEMS领域的研究热点,对微加速度计表头电容的变化进行检测是其读出电路中首先要解决的问题。研究开发易于集成、性能优良,并应用于微加速度计读出电路的电容检测电路具有重要的实际意义。本文研究设计了一种适于MEMS电容式微加速度计读出电路的开关电容型电容检测电路。为降低运放有限增益、运放输入直流失调电压以及低频噪声的影响,采用带有相关双采样(CDS)功能的开关电容增益电路,文中对采用的开关电容型检测电路的共模差模以及噪声特性做了详细分析。同时,为了达到闭环系统的增益精度要求