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来源 :西安理工大学 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
Ge1-xCx薄膜成分简单易得,且光学带隙可随Ge/C含量及Ge-C键合比宽范围调整,作为一种新型高效低成本半导体薄膜材料在红外光学/光伏材料领域应用潜力巨大。为保证其制备所需的非
【作 者】
:
高军帅
【机 构】
:
西安理工大学
【出 处】
:
西安理工大学
【发表日期】
:
2019年期
【关键词】
:
半导体薄膜
直流磁控溅射
工艺参数
铝掺杂
光电性能
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