作为20世纪80年代后期发展起来的一门新兴学科,微成形技术已经广泛的运用到航空航天、医疗器械、电子产品等多个领域。微成形是指利用材料的塑性变形来生产至少在二维方向上尺寸处于毫米量级以下加工零件的技术。工业上普遍应用的则是500 nm-500μm范围内的成形加工。尽管传统的微细加工方法可以直接用于MEMS的微小构件,但通过微型模具成形微小制件更易于保证质量,且成形工艺容易控制,便于自动化生产,是大批量成形微型制件的重要工艺发展方向。薄膜激光层裂微成形技术是一种新型的激光微塑性加工技术。该技术基于平面应力波在双层介质中的传播机理,利用高功率密度脉冲激光驱动飞片高速运动,飞片产生高压冲击波实现层裂所需要的峰值压力,结合先进的激光驱动飞片技术和微型模具实现金属薄膜的微成形。本文阐述了薄膜激光层裂微成形技术的基本原理,设计并完成了激光薄膜层裂微成形的实验,实现了厚度为纳米级的金属薄膜的微成形,讨论了激光能量、薄膜厚度、应力波脉冲、薄膜与基体声阻抗匹配等因素对薄膜成形的影响,分析了成形过程中的失效现象。运用有限元分析软件Abaqus对成形过程进行数值模拟,模拟结果与实验结果基本一致,说明本文建立的模型是正确的,能有效的模拟薄膜激光层裂的微成形过程。薄膜激光层裂微成形技术是一种低成本,高效率,轻污染的新型激光微加工技术,结合阵列结构模具,能够实现批量化生产,它推动和促进了微成形技术的发展,具有广阔的工业应用前景。