微驱动器作为微机电系统的重要执行机构及动力源,自诞生以来即成为微光机电系统的重要组成部分,是该领域的热点之一。其中,光热微驱动器具有原理和结构简单、选材广泛、输出力和形变量大、可以远距离非接触控制、可以微小化和集成化等优点,具有广泛应用前景。本论文基于现有光热微驱动器结合具有集成化潜力的光波导结构,设计了基于光波导结构的微驱动器,主要研究内容如下:首先研究了光波导及光热驱动器的基本原理,设计了Y形光波导结构,研究了该结构中的光传输特性;然后对驱动臂结构的热应变特性进行建模仿真,重点研究了不同波导结构中的温度场分布,并对热膨胀的作用机制和效果进行研究,设计六种不同的微驱动驱动臂结构(单层平板结构、双层平板结构、U型结构、H型结构、十字型结构、一字型结构),研究材料、器件尺寸、热源功率等因素对微驱动器性能的影响,同时对驱动器的性能进行优化,以实现微型机构的高效驱动;在此基础上探索驱动器的制备方法,制备了具有一字型结构的光热微驱动器,并通过将激光导入驱动臂对驱动器的性能进行实验测试,验证了仿真结果,为聚合物电光调制器的进一步研究和应用提供了良好的研究基础。