微驱动器相关论文
微机电系统（MEMS）技术在展现出巨大潜在应用前景的同时也给人们提出了一系列的挑战。首先,由于微纳尺度材料极小的物理尺寸,传统的制......
微流控系统也被称为“芯片实验室”,具有样品消耗量低、反应时间短、严格操控及便携性等优势。随着微流控技术的进一步发展,研究者......
微纳卫星技术的不断成熟及其应用领域的不断扩大对微纳卫星星载微推进系统提出了迫切需求。在电热式MEMS推进器中,冷气加热式推进......
基于压电材料的逆压电效应,设计并制备了悬臂梁式微压电驱动器,通过电能到机械能的转换,完成装置的位移输出任务.基于悬臂梁式微压......
该文便对这种形状记忆合金薄膜驱动的复合膜微驱动器进行了理论研究和有限元仿真分析,对结构进行优化设计和实验研究.结构几何参数......
微驱动器是微电子机械系统的重要组成部分，随着电子系统的小型化和功能的集成化，微驱动器有着巨大的应用前景，其研究也是受到了人们的......
微位移驱动器作为自动控制系统中的重要元件正在不断地引起国内外许多学者的关注.现有的微驱动器很难同时满足微位移、大行程和大......
现代科技和经济的发展历史表明，每一项重大新技术的发现和新兴产业的形成都离不开新材料产业的发展。形状记忆合金作为这样一种既有......
MEMS驱动器是一种换能元件,能够将其他形式的能转化成机械能,具有体积小、质量轻、结构简单等优点,适合在引信中应用。本文介绍了......
本论文依托于国家自然科学基金项目(N0.60575055)《面向微操作的电磁悬浮式空间微运动方法及其理论研究》，提出一种新型的基于磁场......
随着微/纳米科学技术的快速发展，在微机电系统、生物工程、分子原子操纵等领域中，迫切需要具有高操作精度的微运动系统。与传统的微......
微型机器人因其外形尺寸很小，便于进入微小空间实施操作，故能广泛应用于生物医学、化工、军事、航天等领域，对微小空腔、微小管道的检......
论文所研究的新型驱动器具有结构简单、尺寸微小、运动易控的特点,不仅能够用作微型机器人驱动器,也能用在微定位及纳米定位、精密......
本论文依托于国家自然科学基金项目《面向微操作的电磁悬浮式空间微运动方法及其理论研究》(No.60575055)，设计了一种基于磁场同步......
微驱动器作为MEMS的一个重要分支,近年倍受关注。微驱动器有广阔的应用前景,可用于RF开关、相控天线等方面。但是目前驱动器存在驱......
微驱动器作为MEMS的一个重要分支,近年倍受关注。目前,微驱动器发展的趋势是实现低驱动电压、大驱动位移与快速响应。本文设计的微......
近年来，精密定位技术的高速发展对精密电磁微驱动器提出了既要测量范围大又要达到测量精确度高的要求。本论文依托于“局部磁场微调......
学位
形状记忆合金 (SMA)薄膜因其特有的形状记忆合金效应、超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能 ,而在微机电系统中的微驱动器和微......
形状记忆合金 /硅复合膜驱动的微泵由一个可形变腔体和两个单向硅薄片阀组成。微驱动膜利用NiTi形状记忆合金薄膜相变时具有大的可......
期刊
介绍了一种新型的基于非对称结构的光热微型驱动器.驱动器由两个宽细不同的薄悬臂组成.当红外激光照射在悬臂上时,宽窄悬臂的比表......
提出一种用于V型和Z型电热微驱动器性能比较的拓扑结构和标准,建立了在真空工作环境下V型和Z型电热微驱动器系统分析与比较模型.有......
压电陶瓷因其具有迟滞特性,如不经处理,会对其应用产生影响.针对当期望输出与频率无关时的压电陶瓷的迟滞非线性问题,提出了一种基......
微驱动器作为微机电系统的重要执行机构及动力源,自诞生以来即成为微光机电系统的重要组成部分,是该领域的热点之一。其中,光热微......
为了研究超磁致伸缩致动器的输出特性,采用自制的超磁致伸缩微驱动刀架进行其输出特性实验研究。通过作用在GMM棒上的不同预压应力......
主要讨论了一种微型电磁驱动器的设计和制作工艺.该驱动器结构简单,由 Parylene振动膜和硅基片两层组成,将驱动线圈与硅片集成在一......
电磁驱动的微扑翼飞行器翼端拍打振幅受到驱动电压、磁感应强度、电流角频率等因素的影响。为了探究上述三个因素对微扑翼飞行器翼......
针对横向加载单向变形MEMS静电微驱动器位移过小或驱动电压过大问题，提出一种基于纵横弯曲变形原理的硅基大位移低驱动电压静电驱动......
研究了原位加热溅射的NiTi形状记忆合金薄膜的结构，讨论了制备工艺及织构对薄膜相变特征的影响，采用电阻法及X射线衍射分析了薄膜的......
采用磁控溅射法制备的具有PZT结构驱动薄膜,结合微机械电子(MEMS)工艺制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.探讨了PZT薄膜微驱动......
相较于传统静电微驱动器,基于自激振动的静电微驱动器具有输出位移更大的优点,并且工作过程中出现高阶振动现象。为了对高阶振动进......
介绍了一种电磁悬浮微驱动器的工作原理；针对磁悬浮微驱动器的运动特点，提出了一种基于最大值原理的模糊PID微驱动控制方法，对每种控......
首先论述了微型爬壁机器人的发展背景及与传统爬壁机器人的区别.然后对微型爬壁机器人研究的国内外现状及关键技术做了详细分析.......
针对采用微小弹性啮合轮传动机构研制的微驱动器进行了运动和动力学分析，建立了微驱动器的运动方程和动力学方程。然后采用微驱动器......
提出一种低成本、结构简单，直径为￠1.8mm的摆头式棒状压电微马达。阐述了压电微马达的驱动机理、部分制作工艺及工作特性。该压电微......
压电元件在驱动微操作系统时，其输出位移要小于空载状态下的输出位移，针对众多引起压电元件输出位移减小的原因，重点分析了压电陶瓷输......
随着信息技术领域的高速发展,高效与节能型微电机成为发展趋势。综述了近年高效节能型微电机方面的研究进展,指出影响效率的主要因......
研究了一种基于形状记忆合金（SMA）为驱动材料的新型旋转微驱动器，利用活齿传动把SMA丝的直线驱动转化为旋转驱动。该驱动器具有结构紧......
采用溶胶-凝胶法（Sol-gel）制备了PZT压电薄膜，利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。针对微驱动器的关键结构驱动膜......
应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析.因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大,溅射在Si(100)衬底上的TiNi膜......
为了研制可调谐光纤光栅滤波器而采用拉伸装置和光纤光栅一体化的微小器件结构.实现方法是由微细加工技术加工制造一种新的波长可......
图形化SMA薄膜的图案及其结构参数的选择对SMA/Si复合驱动膜的性能有决定性的影响,利用有限元方法对两种图案设计进行了对比分析.......
微光机电系统(MOEMS)是在微机电系统(MEMS)基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学、微电子和微机械相结合而产生的一种新型......
主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺，该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜（PDMS，polydimethyl silox......
经典驻极体电动机,由于输出力矩非常小,在宏观领域很难发挥自身的优势.随着人们对微观领域的研究和探索,驻极体电动机可被作为微驱......
针对磁场同步跟随式磁悬浮微驱动器,构建了新型的集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动器定位系统。设计了一套以DSP为核心的硬......
电磁驱动微型器件的吸合特性一般是基于准静态假设进行分析，所建立的模型与实际开关工作过程有偏差，因此建立更接近其实际工作情况的......
AD7796是由美国Analog Device公司推出的一种较新的低功耗、低噪声、高精度的16位模数转换器，内部集成了温度传感器，片上仪器放大器......
MEMS技术与流动控制技术的结合,使得流动主动控制技术的实际应用逐步成为现实,极大地推动了流动主动控制技术的发展.简述了流动主......
