【摘 要】
：
应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析.因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大,溅射在Si(100)衬底上的TiNi膜,当从晶化的高温降下来时会积聚很大的热应
【机 构】
：
上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心
论文部分内容阅读
应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析.因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大,溅射在Si(100)衬底上的TiNi膜,当从晶化的高温降下来时会积聚很大的热应力.这种微驱动器,就是利用了TiNi的形状记忆效应而引起的这些应力的释放与恢复从而引起复合膜的振动.图形化TiNi薄膜制成加热电阻条作为自加热电阻,可降低功耗、提高响应速度、简化结构.但作为驱动单元的一部分,其图形化的结构参数对复合膜的挠度有很大的影响.通过结构参数优化,可使复合膜的中心挠度值达到最大,从而提高驱动器的性能
其他文献
【摘要】目的：分析软膏剂制备及含量测定的研究价值。方法：选择2017年6月-2017年12月作为研究时间段，以黄连素﹕凡士林比例1﹕10制成软膏，并选择Acclaim SEC-300（4.6×300mm，5.0μm），流动相为乙腈-0.1%磷酸（25：75），流速1.00ml/min，检测波长均为270nm，柱温30℃，分析液相色谱法检测黄连素。结果：本次研究中，黄连素线性范围（0.0211-0.
战争文化是一种很特殊的社会文化，是人类文化与战争实践互动的产物，具有鲜明的民族性、时代性和地域性。研究战争文化的主要特征，有助于我们从整体上认识、理解战争文化的内涵。
文章首先介绍了商务英语的起源，阐述了商务英语的特殊性，然后通过对浙江省台州等六个地区的高职商务英语专业毕业生就业能力的市场调研，分析了商务英语专业毕业生在就业中存在的
介绍了一种新型的基于隧道效应的微型磁强计，对其关键工艺进行了分析和实验研究。利用薄片溶解工艺制作了大尺寸的薄膜(3mm×1mm)，并且在薄膜的两面都制作了图形结构，拓展了
对生态保护与林业发展进行了探讨，提出树立正确的林业发展观、推进林业生态建设、通过经济手段建立生态建设动态机制、加强宏观调控等内容，以期促进林业可持续发展。
感恩是中华民族的传统美德，是当代大学生思想道德素质的重要组成部分。在信息爆炸的时代，在计划生育政策认真贯彻实施的中国，越来越多的大学生的感恩意识在慢慢的削减，更多的却是