【摘 要】
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该课题研究由通用图形数据CIF格式到可变矩形电子束曝光机专用图形数据JEOL51格式的转换问题.论文首先综述了国内外扫描电子束曝光技术的发展水平,介绍了可变矩形电子束曝光
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该课题研究由通用图形数据CIF格式到可变矩形电子束曝光机专用图形数据JEOL51格式的转换问题.论文首先综述了国内外扫描电子束曝光技术的发展水平,介绍了可变矩形电子束曝光机的结构、工作原理以及计算机控制系统.然后在了解可变矩形电子束曝光机图形处理过程的基础上提出了功能移植的解决方案,并详细介绍了CIF格式与JEOL01、JEOL51格式.对数据格式转换中采取的技术路线、算法实现及转换结果检验作了重点论述.在曝光实验中,该文结合M4磁带机的使用和JEOL51数据带的分析,对如何在微机上直接生成JEOL51磁带格式的数据文件作了深入的探索.最后,该文对数据转换过程中的算法作了分析与总结,并指出了课题中尚需解决的问题及努力方向.
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