FIA/MEMS系统的设计

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FIA(FlowInjectionAnalysis,流动注入分析)系统集成了微型传感器、微型泵和相应的处理电路,是一种易于操作、可实现自动控制的分析仪器.该文将从FIA系统工作原理、pH-ISFET传感器、微型泵和测量电路四个方面给出了一处较为完整的关于FIA系统的论述.该文讨论了pH-ISFET器件的特性,并给出其I-V方程,由该方程的分析,选择差动设计方案,制备了带微流通池的长臂式pH-ISFET/REFET集成传感顺.该文对扩散管/喷嘴结构的无阀式微型泵进行了流体输运理论的分析;并提出了泵体的整体结构设计与工艺制备方案,分别采用硅、砷化镓、玻璃和塑料等作为泵体材料开展了工艺试制.最后,该文提出FIA系统测量、显示电路的设计方案.
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