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本实验利用自行设计制作的常压等离子体化学气相沉积(APECVD)装置,使用HMDSO作为单体,Ar和O_2作为辅助放电气体和反应气体,动态连续沉积制备杂化SiCxHyOz聚乙烯隔膜。我们对不同条件参数制备隔膜的宏观和微观性能进行了深入研究,初步分析了涂敷隔膜对锂离子电池的电化学性能的影响。实验结果表明,合理优化控制参数可以使涂敷后聚乙烯隔膜的亲液性能、耐热性能和电化学性能得到提升。放电特性的研究表明,大气压下DBD放电以细丝放电为主。在放电过程中,HMDSO被裂解为含Si基团,这类基团作为前驱体参与